滨松微光显微镜（EMMI，又称PEM，Photon Emission Microscope，光发射显微镜）的原理主要基于半导体器件在失效或缺陷状态下会发出微量光子的现象。以下是对其原理的详细解释：
滨松微光显微镜不仅具有故障点定位、寻找亮点和热点的功能，还广泛应用于以下领域：
此外，滨松微光显微镜还可以与光束诱导电阻变化（OBIRCH）功能集成在一个检测系统中。OBIRCH技术利用激光束在恒定电压下的器件表面进行扫描，通过检测金属互联线缺陷处温度累计升高引起的电阻和电流变化，来定位缺陷位置。这种技术具有迅速、通用、洁净、简单和灵敏等优点，能够快速准确地定位IC中元件的短路、布线和通孔互联中的空洞等缺陷。
综上所述，滨松微光显微镜的原理是基于半导体器件在失效或缺陷状态下发出的微量光子进行侦测和定位。其应用范围广泛，是半导体故障失效分析中的重要工具。
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